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紫外线光源在高新技术领域的应用

时间:2014-09-17 点击:
下表例示了在高新领域主要的一些应用、相关波长以及通常使用的相关光源。
 
应用 主要相关波
一般使用光源
光清洗 150-300nm 石英低压水银放电管、光化学用水银灯、卤素激元体放电管(excimer lamp)
光蚀刻 150-300nm 低压石英水银灯、卤素激元体激光、超高压水银灯
光灰化(感光膜剥离) 150-300nm 低压水银灯、光化学用水银灯、卤素激元体放电管、超高压水银灯
光改质、改性 150-300nm 低压水银放电管、光化学用水银灯、卤素激元体放电管
光刻、曝光 0.1-480nm 光化学用水银灯、超高压水银灯、卤素激元体放电管、卤素激元体激光(excimer laser)、X线源、电子束、毛细管型超高压水银灯、Deep UV线灯、氙灯
光CVD 150-400nm 光化学用水银灯、低压石英放电管、卤素激元体放电管、卤素激元体激光、同步加速器放射光
光触媒、光催化作用 150-400nm 低压石英水银灯、杀菌灯、紫外线荧光灯、高压水银灯
光分解 150-400nm 低压石英水银灯、杀菌灯、高压水银灯、卤素激元体放电管
光氧化 150-400nm 低压石英水银灯、杀菌灯、高压水银灯
光合成 250-600nm 石英水银灯、金卤灯
光固化、硬化、干燥、胶合 200-480nm 光化学用水银灯、金卤灯、氙灯、水银氙灯、紫外线荧光灯、无电极灯
紫外线造型 200-480nm 高压汞灯、光化学用水银灯、金卤灯、氙灯、低压石英水银灯、光造型用Ar激光器
杀菌 200-320nm 低压石英水银灯、杀菌灯、石英水银灯、冷阴极水银灯、无电极紫外线杀菌放电管
基因导入技术 200-300nm 紫外线低压汞灯、冷阴极汞灯
臭氧检测 200-300nm 冷阴极石英汞灯、低压石英水银灯
光电子表面分析 10-400nm 氦辉光放电管、激光、同步加速器放射光
元素分析 100-400nm 原子光谱灯、无极微波紫外光谱灯
   

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